Това е вид дестилация в среда с висок вакуум, за разликата в свободния път на движение на молекулите на материала, е извършена в процеса на дестилация и пречистване на чувствителен към топлина материал или материал с висока точка на кипене. Дестилацията по къс път се използва главно в химическата, фармацевтичната, нефтохимически, подправки, пластмаси, нефт и други области.